一、 原理
在板面铜箔上贴上一层感光材料(感光油或干膜),然后通过黑菲林进行对位曝光,显影后形成线路图形。
二、化学清洗
1. 设备:化学清洗机
2. 作用:a. 除去Cu表面的氧化物、垃圾等;b. 粗化Cu表面,增强Cu表面与感光油或干膜之间的结合力。
3. 检测洗板效果的方法:
a. 水膜试验,要求≥30s
4. 影响洗板效板的因素:除油速度、除油剂浓度、微蚀温度、总酸度、Cu2+浓度、压力、速度
5. 易产生的缺陷:开路(清洗效果不好导致甩菲林),短路(清洁不净产生垃圾)。
三、辘干膜
1. 设备:手动辘膜机
2. 作用:在铜板表面上贴上一层感光材料(干膜);
3. 影响贴膜效果的主要因素:温度、压力、速度;
4. 贴膜易产生的缺陷:内短(菲林碎导致Cu点)、内开(甩菲林导致少Cu);
四、辘感光油
1. 设备:辘感光油机、自动粘尘机;
2. 作用:在已清洗好的铜面上辘上一层感光材料(感光油);
3. 影响因素:感光油粘度、速度;焗板温度、速度。
4. 产生的缺陷:内开(少Cu)。
五、曝光
1. 设备/工具:曝光机、10倍镜、21Step曝光尺、手动粘尘辘;
2. 曝光机,在已辘感光油或干膜的板面上拍菲林后进行曝光,从而形成线路图形;
3. 影响曝光的主要因素:曝光能量、抽真空度、清洁度;
4. 易产生的缺陷:开路(曝光不良)、短路(曝光垃圾)。
六、DES LINE
I、显影
1. 设备:DES LINE;
2. 作用:将未曝光的感光材料溶解掉,留下已曝光的部分从而形成线路;
3. 主要药水:Na2CO3溶液;
4. 影响显影的主要因素:a.显影液Na2CO3浓度;b.温度;c.压力;d.显影点;e.速度。
5. 易产生的主要缺陷:开路(冲板不尽、菲林碎)、短路(冲板过度)。
II、蚀刻:
1. 设备:DES LINE;
2. 作用:蚀去没有感光材料保护的Cu面,从而形成线路;
3. 主要药水:HCl、H2O2、CuCl2;
4. 影响因素:Cu2+浓度、湿度、压力、速度、总酸度;
5. 易产生的主要缺陷:短路(蚀刻不尽)、开路(蚀刻过度)。
III、褪膜:
1. 设备:DES LINE;
2. 作用:溶解掉留在线路上面的已曝光的感光材料;
3. 主要药水:NaOH
4. 影响因素:NaOH浓度、温度、速度、压力;
5. 易产生的主要缺陷:短路(褪膜不尽)。
七、啤孔:
1. PE啤机;
2. 作用:为过AOI及排板啤管位孔;
3. 易产生缺陷:啤歪孔。
八、环境要求:
1. 洁净房:温度:20±3℃;相对湿度:55±5%;含尘量:0.5µm以上的尘粒≤10K/立方英尺
2. PE机啤孔房:温度:20±5℃;相对湿度:40~60%
九、安全守则:
1. 化学清洗机及DES LINE加药水时必须戴防酸防碱的胶手套,保养时须戴防毒面罩;
2. 手不能接触正在运作的辘板机热辘;
3. 不得赤手接触感光油,保养ROLLER COATER机时必须戴防毒面罩;
4. 未断电时不得打开曝光机机门,更不能让UV光漏出。
十、环保事项:
1. 化学处理机及DES LINE的废水及废液在每班下班之前半个小时经专一的管道排放至废水站
进行处理。
2. 干膜之边角料、废纸箱、废纸皮、报废黑菲林、菲林保护膜等由生产部收集起来放在垃圾桶内,由清洁工收走。
3. 空感光油膜桶、硫酸桶、盐酸桶、除泡剂瓶、菲林水桶及片碱袋由生产部依MEI051处理回
仓。
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