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  • 工艺流程二:内层干菲林
    发布时间:2010-4-7

    一、  原理
    在板面铜箔上贴上一层感光材料(感光油或干膜),然后通过黑菲林进行对位曝光,显影后形成线路图形。
     
    二、化学清洗
    1.    设备:化学清洗机
    2.    作用:a. 除去Cu表面的氧化物、垃圾等;b. 粗化Cu表面,增强Cu表面与感光油或干膜之间的结合力。
    3.    检测洗板效果的方法:
    a.    水膜试验,要求≥30s
    4.    影响洗板效板的因素:除油速度、除油剂浓度、微蚀温度、总酸度、Cu2+浓度、压力、速度
    5.    易产生的缺陷:开路(清洗效果不好导致甩菲林),短路(清洁不净产生垃圾)。

    三、辘干膜
    1.    设备:手动辘膜机
    2.    作用:在铜板表面上贴上一层感光材料(干膜);
    3.    影响贴膜效果的主要因素:温度、压力、速度;
    4.    贴膜易产生的缺陷:内短(菲林碎导致Cu点)、内开(甩菲林导致少Cu);

    四、辘感光油
    1.    设备:辘感光油机、自动粘尘机;
    2.    作用:在已清洗好的铜面上辘上一层感光材料(感光油);
    3.      影响因素:感光油粘度、速度;焗板温度、速度。
    4.    产生的缺陷:内开(少Cu)。

    五、曝光
    1.    设备/工具:曝光机、10倍镜、21Step曝光尺、手动粘尘辘;
    2.    曝光机,在已辘感光油或干膜的板面上拍菲林后进行曝光,从而形成线路图形;
    3.    影响曝光的主要因素:曝光能量、抽真空度、清洁度;
    4.    易产生的缺陷:开路(曝光不良)、短路(曝光垃圾)。

    六、DES LINE
    I、显影
    1.    设备:DES LINE;
    2.    作用:将未曝光的感光材料溶解掉,留下已曝光的部分从而形成线路;
    3.    主要药水:Na2CO3溶液;
    4.    影响显影的主要因素:a.显影液Na2CO3浓度;b.温度;c.压力;d.显影点;e.速度。
    5.    易产生的主要缺陷:开路(冲板不尽、菲林碎)、短路(冲板过度)。
    II、蚀刻:
    1.    设备:DES LINE;
    2.    作用:蚀去没有感光材料保护的Cu面,从而形成线路;
    3.    主要药水:HCl、H2O2、CuCl2;
    4.    影响因素:Cu2+浓度、湿度、压力、速度、总酸度;
    5.    易产生的主要缺陷:短路(蚀刻不尽)、开路(蚀刻过度)。
    III、褪膜:
    1.    设备:DES LINE;
    2.    作用:溶解掉留在线路上面的已曝光的感光材料;
    3.    主要药水:NaOH
    4.    影响因素:NaOH浓度、温度、速度、压力;
    5.    易产生的主要缺陷:短路(褪膜不尽)。

    七、啤孔:
    1.    PE啤机;
    2.    作用:为过AOI及排板啤管位孔;
    3.    易产生缺陷:啤歪孔。

    八、环境要求:
    1.  洁净房:温度:20±3℃;相对湿度:55±5%;含尘量:0.5µm以上的尘粒≤10K/立方英尺
    2.  PE机啤孔房:温度:20±5℃;相对湿度:40~60%

    九、安全守则:
    1.    化学清洗机及DES LINE加药水时必须戴防酸防碱的胶手套,保养时须戴防毒面罩;
    2.    手不能接触正在运作的辘板机热辘;
    3.    不得赤手接触感光油,保养ROLLER COATER机时必须戴防毒面罩;
    4.    未断电时不得打开曝光机机门,更不能让UV光漏出。

    十、环保事项:
    1.    化学处理机及DES LINE的废水及废液在每班下班之前半个小时经专一的管道排放至废水站
       进行处理。
    2.    干膜之边角料、废纸箱、废纸皮、报废黑菲林、菲林保护膜等由生产部收集起来放在垃圾桶内,由清洁工收走。
    3.    空感光油膜桶、硫酸桶、盐酸桶、除泡剂瓶、菲林水桶及片碱袋由生产部依MEI051处理回
       仓。

     

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